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              高純氣體管道配管技術及常見氣體種類介紹

              2021-01-26 10:45:59    責任編輯: 高純氣體管道安裝公司     0

              什么是高純氣體管道配管技術?所謂的高純氣體配管技術,是包括高純供氣系統的正確設計、閥門管件及附件的合理選擇、管道施工、安裝試驗和測試等;是高純氣體供應系統的重要組成部分;是保證高純氣體安全穩定的輸送到用氣點,且符合設備使用要求的關鍵技術。



              高純氣體管道工程應用領域

              高純氣體管道系統工程有著能保證氣體的純度、保證標準氣體流量、壓力穩定和量值傳遞不發生變化等特點,廣泛應用于半導體、集成電路、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各種實驗室、科研研究所、標準測試等高科技行業。


              常見氣體種類:

              在電子工業中普通氣體,也稱大宗氣體(Bulkgas):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氮氣(A2)等;除普通氣體外,電子工業還會用到大量的高純特種氣體(Specialty gas ),如:SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。這些特殊氣體根據氣體性質,類別通??煞譃楦g性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。


              常用半導體氣體分類如下:

              (一)腐蝕性/毒性: HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等

              (二)可燃性: CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

              (三)助燃性: O2、C12、N2O、W3等

              (四)惰性: CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等


              半導體行業中使用的電子特種氣體,很多都是對人體有害。比如,半導體制程工藝最常見的特種氣體:硅烷(SiH4)就具有自燃特性,一旦發生泄漏,它們就會與空氣中的氧氣劇烈反應并開始燃燒。再比如磷烷(PH3)和坤烷(AsH3)也具有劇毒性,任何輕微的泄漏都可能對人們的生命造成傷害。正是由于這些明顯的危險,所以對于高純氣體供應系統設計的安全性要求特別高。


              以上,便是關于高純氣體配管技術及電子工業中常見的氣體種類的簡單介紹,感謝您的閱讀!


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