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              高純氣體管道系統中氣體與管道的關系?

              2020-10-13 10:22:14    責任編輯: 高純氣體管道安裝公司     0

              近年來,以大規模集成電路為代表的微電子產品生產對高純氣體的純度和雜質含量的日益嚴格的要求,使能保障高純氣體的純度,減少雜質污染的配管技術也日益受到關注和重視。



              首先我們先來簡單了解一下電子行業中的常見氣體:


              普通氣體,也稱大宗氣體 (Bulk gas ):

              氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等


              特種氣體(Specialty gas ):

              有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6.....等


              特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半導體氣體分類如下:

              1. 腐蝕性/毒性:HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 等

              2. 可燃性:H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

              3. 助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3等

              4. 惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等


              半導體氣體很多是對人體有害,如SiH4的自燃性,只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應,開始燃燒;還有AsH3的劇毒性等,這些都是顯而易見的危險,所以對于能安全穩定輸送用這些氣體的高純氣體管道系統設計安全性的要求也特別高。



              高純氣配管技術是高純氣體管道系統中重要的組成部分,包括系統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內容是能否將符合要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵技術。


              綜上,可知氣體管道系統中,管道是氣體的運輸載體,在保障氣體純度的情況下,將氣體安全穩定的輸送到用氣點,保證生產安全和質量。

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