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              大宗氣體管道系統設計要點

              2020-03-27 10:35:46        0

              深圳沃飛科技有限公司是一家從事氣體應用系統工程的高新技術企業,專業為客戶提供大宗氣體系統、電子特氣系統、實驗室氣路系統、工業集中供氣系統、高純化學品供液系統、Local Scrubber尾氣處理系統等全套工程技術服務和配套產品的一站系統解決方案,公司于2018年榮獲“國家高新技術企業”認定。


              伴隨我國半導體、電子行業的快速發展,大宗供氣系統的應用越來越廣泛,像半導體、制芯、醫藥、食品等行業都不同程度的使用了供氣系統,因此氣體管道的施工對于我們來說也越來越重要,要確保其安全性和經濟性。

              大宗供氣系統是半導體生產過程中必不可或缺的系統,其直接影響全廠生產的運行和產品的質量。相比較而言,集成電路芯片制造廠由于工藝技術難度更高、生產過程更為復雜,因此所需的氣體種類更多、品質要求更高、用量更大,也就更具有代表性。大宗供氣系統是在氣柜基礎上開發出來的,可以持續進行超大流量不間斷供應特氣的供應系統。


              一、大宗氣體管道系統的設計

              必須根據工廠所需用氣量的情況,選擇最合理和經濟的供氣方式。氮氣的用量往往是很大的,根據其用量的不同,可考慮采用以下兩種方式供氣:

              (1)液氮儲罐,用槽車定期進行充灌,高壓的液態氣體經蒸發器(Vaporizer)蒸發為氣態后,供工廠使用。這是目前采用最多的一種方式。

              (2)采用空分裝置現場制氮。這適用于N2用量很大的場合。集成電路芯片制造廠多采用此方式供氣,而且還同時設置液氮儲罐作為備用,氧氣和氬氣往往采用超低溫液氧儲罐配以蒸發器的方式供應,氫氣則以氣態方式供應,一般采用鋼瓶組(Bundle)即可滿足生產要求。

              二、大宗氣體輸送管道系統的設計

              經純化后的大宗氣體由氣體純化間送至輔助生產層(SubFAB)或生產車間(FAB)的架空地板下,在這里形成配管網絡,再由二次配管系統(Hook-up)送至各用戶點。

              (2)配管系統的基本設計原則是在主管上按一定間距設置支管端,再在每個支管上按一定間距設置分支管供二次配管使用。另外,主管的管徑不必隨流量的遞減而采取漸縮設計。這種配管系統的確具有充分的靈活性,但由于超高純氣體管路的管件和閥件價格昂貴,該系統的成本之高也是顯而易見的。通常,集成電路芯片廠的建設往往會分成若干個階段,一方面可以緩解一次性投資的巨大資金壓力,另一方面也可以根據市場狀況作出相應的調整決策。在新廠建設的第一階段,設計產量往往不是很高,用氣點也不是很多,尤其是氫、氬、氧、氦的用氣點就更少。因此必須考慮如何來簡化該配管系統以降低成本。

              三、大宗氣體管道系統其它設計要點

              在設計中還應遵循國內其他相關規范,如《潔凈廠房設計規范》、《氫氧站設計規范》、《供氫站設計規范》等,其中主要的設計要點有:

              (1)在主管末端要設計氣體取樣口,對于氫氣和氧氣,還需在主管末端設置放散管。放散管引至室外,應高出屋脊1米,并應有防雨、放雜物侵入的措施;

              (2)氫氣、氧氣管道間距問題;

              (3)氧氣管道及其閥門、附件應經嚴格脫脂處理,并應設導除靜電的接地設施;

              (4)氫氣管道接至用氣設備的支管和放散管,應設阻火器;引至室外的放散管,應設置防雷保護設施;應設導除靜電的接地設施。


              以上就是沃飛科技關于大宗氣體管道系統設計要點的一些見解,希望能給有需要的用戶提供參考!

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