<progress id="i8qnu"><big id="i8qnu"><noframes id="i8qnu"></noframes></big></progress>
    1. <li id="i8qnu"></li>
        1. <li id="i8qnu"><tr id="i8qnu"></tr></li>
        2. <tbody id="i8qnu"></tbody>
          1. <progress id="i8qnu"></progress>

              熱線 0755-27919860

              電子氣硅烷特氣柜設計及硅烷氣體管道要求

              2020-03-04 11:32:14        0

               硅烷特氣柜設計及氣路管道要求

                硅烷在高科技種應用越來越廣泛,硅烷有什么作用,硅烷控制系統設計有哪些要求?這里將進行介紹。硅烷之所以在高科技中被廣泛應用并且越來越重要, 首先是與它的特性有關,同時也與現代高技術的特殊需求有關。通過熱分解或與其它氣體的化學反應,

                


              硅烷的有什么作用


                1、可由硅烷制得單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物質。

                2、利用硅烷可以實現zui高的純度、zui精細(可達原子尺寸)的控制和最靈活多變的化學反應。從而將各種含硅材料按各種需要制成復雜精細的結構, 這正是現代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。

                硅烷特氣柜設計要求

                1、硅烷由于其極其危險性,整套系統應該設置獨立的惰性氣體鋼瓶進行吹掃,不得采用管道氮氣吹掃;

                2、應該配備惰性吹掃裝置、氣體泄露偵測器、火焰探測器等;

                3、硅烷系統的排氣管不得接入排風系統;

                4、排氣管應采用惰性氣體連續吹掃,吹掃氣體流速不得小于0.3m/s

                5、排氣的硅烷濃度較高時,應采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。

                硅烷特氣管道要求

                特氣管道安裝一般采用充氬氣加熱處理而成,EP管采用電解研磨方式加工而成。其內、外表面極其光亮。潔凈管道的焊接除了要達到常規工業管道對焊縫的要求外,還要求焊接時管內、外表面不受污染,焊縫內、外表面必須與母材光亮度基本一致。

              国产精品久久毛片,五月天久久,久久久久亚洲AV无码专区首页_首页
              <progress id="i8qnu"><big id="i8qnu"><noframes id="i8qnu"></noframes></big></progress>
              1. <li id="i8qnu"></li>
                  1. <li id="i8qnu"><tr id="i8qnu"></tr></li>
                  2. <tbody id="i8qnu"></tbody>
                    1. <progress id="i8qnu"></progress>