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              大宗特種氣體供氣系統的應用和介紹

              2020-03-02 10:00:41    責任編輯: 沃飛科技     0

              大宗特種氣體供氣系統的應用和介紹


              大宗特種氣體供氣系統介紹(集成電路、太陽能電池、LED、液晶顯示)

              大宗特種氣體供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產線(氣體種類包括NH3),發光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產線(氣體種類包括HCL)等行業。它們的投資規模巨大,采用先進的工藝制程設備,用氣需求量大,對穩定和不間斷供應、純度控制和安,全生產提出嚴格的要求。

              上述工廠的大宗普通氣體多采用現場制氣(On-site)或工業園區管道(Pipeline)集中供應方式,一個年產5萬片的8英寸 超大規模集成電路廠高純氮氣的需求超過5,000Nm3/h,發光二極管的磊晶工序線和硅外延生產線的氫氣需求超過100Nm3/h。

              除了普通鋼瓶(50L及以下)包裝的特種氣體外,還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器,由此它們被稱為大宗特氣,包括Y-鋼瓶(450L),T-鋼瓶(980L),集裝格(940L),ISO罐(22,500L),大灌車(13,400L)等。

              大宗特種氣體供氣系統(BSGS)采用全自動PLC控制系統,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安,全防護措施,泄漏偵測,遠程緊急切斷;專用氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用單獨氣源,多用點采用VMB或VMP分路供應,VMB或VMP采用支路氣動閥,氮氣吹掃,真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大,多采用單獨的氣體房,單獨的抽風系統。

              深圳沃飛科技有限公司是一家從事氣體應用系統工程:電子特氣系統、實驗室氣路系統、工業集中供氣系統、大宗氣體(液體)系統、高純氣體及特種工藝氣體二次配管系統、化學品輸送系統、純水系統提供從技術咨詢、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術服務和配套產品于一體的高新技術企業; 榮獲“高新技術企業”認定并取得證書。

              工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫藥、科研所、標準檢測等高科技行業;為客戶提供高純介質輸送系統全套解決方案與全國各大院??蒲兴献餮邪l的多個實驗室項目,并取得了可喜的成績。同時為眾多高新技術企業和上市企業提供了優良的氣體應用系統服務,保障其生產和設備的可靠運行!

              同時公司擁有奧飛克AFK 、Afklok 、沃飛 等品牌,自主研發生產的氣體混配器、特氣柜、氣體匯流排、VMB閥門箱、氣體減壓器、管件接頭、閥門儀表等產品暢銷于全球26個地區和國家,并獲得了多項發明專利,為了追求更好品質并給客戶提供更高更保障的技術,嚴格按照ISO9001標準執行各項管理。


              以上就是沃飛科技大宗特種氣體供氣系統的應用和介紹


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