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              來看看電子特氣管道系統中GC特氣柜/GR特氣架應該如何設置

              2021-03-05 17:35:15    責任編輯: 特氣管道安裝公司     0

              電子特氣管道系統,簡稱特氣系統由存儲、輸送、分配、控制四類組成,其中“存儲”是指氣源部分(特氣柜GC),“輸送”指配管方面(一般用雙套管),“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB),“控制”指監督控制部分(氣體管理系統GMS)。是一種廣泛應用于半導體、集成電路、光纖、太陽能電池等微電子行業的氣路系統。


              特種氣體系統的GC特氣柜/GR特氣架的設置須符合下列規定:

              1. 氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶內置吹掃氣源等多種結構配置;

              2. 不相容氣體瓶不應放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中;

              3. 氣瓶柜、氣瓶架應設置作業用氣體面板;

              4. 系統的供應能力應經過熱力學和流體力學計算核實;

              5. 氣瓶柜閉門時應保持不低于100Pa負壓,柜內的排風換氣次數不得低于300次/h;

              6. 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應在排風出口設置固定式氣體泄漏探測器;

              7. 氣瓶柜柜體 外殼鋼板厚度不應小于2.5mm, 并應有防腐蝕涂層;

              8. 氣瓶柜門應具備自動關閉功能, 并應配備防爆玻璃觀察窗;氣瓶柜的固定螺栓設計應滿足當地地震設防烈度的要求;

              9. 氣瓶柜、氣瓶架應設置清晰明確的安全標識牌;

              10. 當氣瓶柜放置在有爆炸和火災危險環境時,其設計應符合現行國家標準《爆炸危險環境電力裝置設計規范》GB50058的有關規定。


              電子特氣管道工程是一種危險性很高的工程,是保證有著易燃易爆、腐蝕、劇毒等性質的特種氣體的安全穩定輸送的氣體供應系統,所以,為了用氣安全,在安裝特氣系統時,要嚴格遵守其中的一些規定標準。

              以上,便是關于特氣系統中特氣柜和特氣架該如何設置的介紹,感謝您的閱讀!


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