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              半導體超高純電子特氣系統中電子混合氣的簡單介紹

              2021-03-03 13:36:04    責任編輯: 特氣系統工程設計安裝公司     0

              在半導體、集成電路等微電子工業中,氣體扮演著不可或缺的角色,其中除了大家熟知的一些大宗氣體以外,就是通過超高純電子特氣系統參與制程各工序的特種氣體,其中有一個重要的組成部分:電子混合氣體。通俗的講,就是由幾種氣體組成的氣體混合物。



              電子混合氣定義及應用

              氣體混合物是指又兩種或者兩種以上的純氣體、根據使用的要求并按一定比例配制而成的混合氣,來滿足使用需求,有二元或者多元混合氣,其品種之多,可達數千種。

              電子特種氣體,除可直接通過超高純電子特氣系統管道供氣作為半導體源:如硅源、硼源、磷源和化學氣相沉積(CVD)源等以外。便是通過特氣系統輸送到混合配比器中生成電子混合氣體。

              電子混合氣體廣泛用于大規模集成電路(L.S.I)、超大規模集成電路(V.L.S.I)和半導體電子器件生產中,主要用于氣相外延(生成)、化學氣相淀積、摻雜(雜質擴散)、離子注入和潔凈吹掃等工藝中。


              電子混合氣分類:

              根據不同用途又可以將電子混合氣體分為:晶體生長氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴散氣、化學氣相淀積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊接氣、燒結氣和平衡氣等。



              以上,便是關于半導體超高純電子特氣系統中,關于電子混合氣的定義、分類和應用領域的簡單介紹,感謝您的閱讀!


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