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              砷烷(AsH3)電子特氣系統在集成電路關鍵制程工藝中的應用

              2021-01-18 10:40:01    責任編輯: 特氣系統工程設計安裝公司     0

              半導體產業是國民經濟的重要組成部分,高純電子特氣是半導體產業發展所需的核心原料之一,在半導體材料需求中占比排名第二,達到15%左右。高純砷烷(AsH3)就是其中一種常用的高純電子特氣,在半導體集成電路中,通過電子特氣系統,安全穩定的參與外延、擴散、離子注入等工藝。



              什么是砷烷?

              砷烷(AsH3)又稱砷化氫,是一種劇毒的易燃無色氣體,具有大蒜臭味,熱穩定性較差,受熱時易分解為氯氣和元素砷。

              砷烷是一種強烈溶血毒物,紅細胞溶解后的產物可堵塞腎小管,引起急性腎功能衰竭,長期在低濃度砷化氫環境中作業主要表現為頭痛、乏力、惡心、嘔吐,較重者可有多發性神經炎,是一種危險性電子特氣,在運輸、存儲和使用等過程中都要注意安全。


              砷烷的應用領域:

              砷烷(AsH3)是電子工業的重要基礎材料之一,是一種重要的電子特氣,在半導體工業中主要用于外延硅的N型摻雜、硅中的N型擴散、離子注入、生長砷化鎵(GaAs) 和磷砷化鎵(GaAsP),以及與ⅢA/ⅤA族元素形成半導體化合物等。

              砷烷(AsH3)是制造半導體化合物砷化鎵的重要材料,由砷化鎵(GaAs)集成電路所提供的高速度和高頻率是其它器件所不能比擬的.由它制備的微波變頻器件和光電器件,廣泛用于導彈制導、雷達和新一代衛星通訊等裝置。


              砷烷電子特氣系統的應用:

              砷烷電子特氣系統是通過砷烷特氣柜等SEMI 2認證的特種設備、高潔凈度耐腐蝕的EP級316L氣體管道及氣體泄漏監測報警系統等,來保證劇毒易燃的砷烷氣體純度和氣體的安全儲存、輸送及使用。



              綜上,砷烷(AsH3)是一種重要且危險的電子特氣,通過砷烷電子特氣系統保證氣體安全穩定使用,廣泛用于半導體、集成電路、光電子、太陽能電池和微波裝置等行業。感謝您的閱讀!


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