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              磷烷特氣柜在半導體外延工藝中的知識介紹

              2021-01-15 10:54:27    責任編輯: 特氣設備生產制造廠商     0

              在半導體材料和器件的研究和生產中經常要使用各種具有易燃易爆、劇毒、腐蝕性的特種氣體,磷烷(PH3)便是其中一種典型。在半導體制造中,這種氣體需通過磷烷特氣柜等特氣系統設備輸送供氣,參與到制程工藝中,主要用作半導體外延材料的生長源,在氣相外延(VPE)、金屬有機物氣相外延(MOVPE)等廣泛應用。


              磷烷的氣體性質:

              磷烷(PH3):是一種無色、劇毒、易燃氣體,磷化氫按照高毒性且自燃的氣體處理,一般以液化壓縮氣體儲存于氣體鋼瓶內。

              磷烷(PH3)是一種人體吸收相當快的劇毒氣體,主要由呼吸道吸入中毒,吸入人體會對心臟、呼吸系統、腎、腸胃、神經系統和肝臟造成影響,空氣中濃度若達到1390mg/m3,會使人迅速死亡。對吸入中毒者應立即將中毒者移至新鮮空氣處,更換污染衣服,用水沖洗皮膚。

              磷烷在半導體工藝中的作用:

              磷烷(PH3)主要用于硅外延的摻雜劑,磷擴散的雜質源,同時也常用于其他一些半導體工藝中,如擴散、離子注入、多晶及非晶硅化學氣相淀積、外延GaP材料、化合物半導體的MOCVD工藝等。


              磷烷特氣柜的作用:

              從上面的描述,可以了解到磷烷(PH3)是一種危險性特種氣體,不管是它的制備、運輸、供氣和廢氣處理等,都需要注意安全。

              磷烷特氣柜是電子特氣系統中一種專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應而設計的特氣設備,基本功能有自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷等,可以保證磷烷(PH3)在半導體制造中的用氣安全和氣體純度及提供穩定的氣體壓力。


              綜上所述,磷烷(PH3)是微電子工業、光電子技術中不可或缺的氣體材料,雖然因其氣體性質在使用中具有一定的危險性,但有著磷烷特氣柜等特氣系統設備為它保駕護航,可以放心使用。感謝您的閱讀!


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