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              電子特氣系統在半導體制程擴散工藝中的應用

              2021-01-13 11:02:35    責任編輯: 特氣管道安裝公司     0

              在半導體制造中,擴散工藝是一種常用的生產工藝,是一種摻雜技術,而電子特氣系統是能將擴散工藝所需的元素氣體原材料,在保護氣體純度的同時,安全穩定的供應到使用設備。



              什么是擴散工藝?

              擴散工藝是一種摻雜技術,在高溫條件下,利用熱擴散原理將雜質元素按工藝要求對半導體晶圓進行摻雜,即將元素磷、硼擴散入硅襯底中,從而改變和控制半導體內雜質的類型、濃度和分布,改變硅材料的電學特性,以便建立起不同的電特性區域。

              擴散工藝在半導體制造中應用主要體現在對關鍵結構PN結形成的作用上。因為單獨的擴散工藝還有一些缺陷:如高溫擴散時間長、生產周期長、所需溫度高等,這些缺陷會對半導體的產量、質量和成品率等都會造成影響,所以,在PN結的制造中,擴散工藝常搭配離子注入技術一起使用。



              特氣系統的應用:

              在半導體制造中,特氣系統將含元素離子氣體作為摻雜氣體注入到晶圓表面,通過擴散原理改變硅材料的電學特性,形成半導體PN結。

              半導體行業對所用的氣體,不管是純度還是氣體性質都有著使用要求,被稱為電子特氣,大多數是易燃易爆、劇毒、腐蝕性的特殊氣體,具有很大的危險性。超高純電子特氣系統,就是在保護電子特氣純度、避免外界雜質污染的同時,保證氣體的使用安全、壓力穩定和使用設備的精準供氣。



              以上描述,就是關于電子特氣系統在半導體制造擴散工藝中應用的簡單介紹!希望對您有所幫助,感謝您的閱讀!


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