<progress id="i8qnu"><big id="i8qnu"><noframes id="i8qnu"></noframes></big></progress>
    1. <li id="i8qnu"></li>
        1. <li id="i8qnu"><tr id="i8qnu"></tr></li>
        2. <tbody id="i8qnu"></tbody>
          1. <progress id="i8qnu"></progress>

              熱線 0755-27919860

              電子特氣柜在半導體集成電路PN結制造時的作用

              2020-12-30 15:56:44    責任編輯: 特氣設備生產制造廠商     0

              在半導體集成電路中最微觀結構是由PN結構成的,PN結的單向導電性,是現代電子技術中許多器件所利用的特性,例如半導體二極管。那么,在PN結制造中電子特氣柜發揮著什么樣的用處呢?一起來了解下吧!



              PN結介紹:

              P型半導體(P指positive,帶正電的):由單晶硅通過特殊工藝摻入少量的三價元素組成,會在半導體內部形成帶正電的空穴;N型半導體(N指negtive,帶負電的):由單晶硅通過特殊工藝摻入少量的五價元素組成,會在半導體內部形成帶負電的自由電子。

              PN結:是采用不同的摻雜工藝,通過擴散作用,將P型半導體與N型半導體制作在同一塊半導體(通常是硅或鍺)基片上,在它們的交界面就形成的空間電荷區。



              離子注入氣體介紹:

              在PN結制造中,把元素摻入單晶硅中的方法有:合金法、擴散法、離子注入法和外延生長法等,其中主要制造方法是離子注入工藝,將含元素離子氣體作為摻雜氣體注入到晶圓表面。

              P型半導體主要離子注入元素為硼(B) 和銦(In) ,氣體主要為三氟化硼(BF3) 、乙硼烷(B2H6) 、磷化錮(InP) 等等;N型半導體主要離子注入元素為砷(As) ,磷(P) 等等,氣體主要為砷化氫(AsH3) 和磷化氳(PH3)等等。



              電子特氣柜用處:

              這些離子注入氣體大多都是特種氣體,具有很強的毒性,比如AsH3等氣體,所以在氣體輸送和制造、使用過程中具有一定的危險性,如果發生泄漏等事故,將人員安全和生產造成極大的危害。

              為了減少、甚至杜絕危險事故的發生,在半導體集成電路制造是,會使用SEMI S2認證的多功能電子特氣柜、氣體分配箱VMB、氣體泄漏監測報警系統等特氣設備,來對這些特種氣體進行控制,保證這些離子注入氣體的氣體純度、壓力穩定供應和生產使用安全,避免生產事故的發生。

              綜上,電子特氣柜內部PLC程式設計的安全聯鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局等,可以滿足PN結制造時離子氣體(BF3、B2H6、AsH3等)作為摻雜氣體的安全穩定使用要求。最后,感謝您的閱讀!


              国产精品久久毛片,五月天久久,久久久久亚洲AV无码专区首页_首页
              <progress id="i8qnu"><big id="i8qnu"><noframes id="i8qnu"></noframes></big></progress>
              1. <li id="i8qnu"></li>
                  1. <li id="i8qnu"><tr id="i8qnu"></tr></li>
                  2. <tbody id="i8qnu"></tbody>
                    1. <progress id="i8qnu"></progress>