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              TFT-LCD顯示屏制造中特氣柜/架,VMB/VMP的應用

              2020-12-25 11:33:09    責任編輯: 特氣系統工程設計安裝公司     0

              TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示屏)是一種基礎技術,自二十世紀九十年代開始民用以來,它已成為現代生活不可或缺的組成部分,其應用遠不限于電視機和智能手機,它存在于我們日常生活中的方方面面:手表(可穿戴設備)、電器、廣告、標牌、汽車等。今天主要介紹一下顯示制造工藝所需要的特種氣體,和保證氣體安全輸送使用的特氣系統。



              TFT顯示屏制造與半導體器件制造方面有很多相似之處,比如:這兩種制造過程中都需要使用大量氣體、比如工藝步驟中的沉積、刻蝕、清潔和摻雜,還有其他步驟使用的氣體類型也都比較相似。



              這些氣體中電子特種氣體(ESG)包括硅烷、三氟化氮、氟(現場產生)、六氟化硫、氨氣以及磷化氫混合物,占顯示屏制造中使用氣體的52%。比如硅烷:SiH4是顯示屏制造中最關鍵的氣體之一,與氨氣(NH3)結合使用,形成用于非晶硅(a-Si)晶體管的氮化硅層,與氮氣(N2)結合使用,形成用于低溫多晶硅(LTPS)晶體管的預準分子激光退火非晶硅(a-Si),或與氧化亞氮(N2O)結合使用形成金屬氧化物(MO)晶體管的氧化硅層。


              TFT-LCD中的特氣系統

              為保證TFT顯示屏制造中易燃易爆、劇毒性和腐蝕性等危險性電子特種氣體的安全使用,都會安裝特氣系統。特氣系統由半導體SEMI S2認證的特氣柜(GC)、特氣架(GR)、VMB/VMP以及特氣管道組成,保證如硅烷、笑氣(N2O)等特種氣體的安全輸送。



              綜上,TFT-LCD顯示屏制造中PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)、蝕刻、LTPS和MO晶體管的生產都需要使用特種氣體,而特氣系統中的SEMI S2認證的特氣柜(GC)、特氣架(GR)、VMB/VMP以及特氣管道保證特種氣體的安全輸送,并保證氣體純度和穩定壓力。


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