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              TFT-LCD 有機廢氣治理——尾氣處理設備

              2020-12-14 10:25:56    責任編輯: 廢氣處理設備制造廠商     0

              TFT-LCD,即薄膜晶體管(Thin Film Transistor,TFT)。TFT-LCD 的制造生產工藝工序繁多,包括檢查和測試在內可達到100 多道工序,生產過程中使用多種化學有機溶劑和特殊氣體,會產生大量的有機廢氣(VOCs ),組分復雜。如果不經尾氣處理設備直接排空,將對環境造成污染。


              TFT-LCD有機廢氣來源:

              TFT 液晶面板生產排放VOCs 污染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜工程兩大部分。陣列工程中的光刻(涂膠、曝光和顯影),以及彩膜工程中的黑色矩陣BM 膜制造、彩色矩陣膜形成(紅、綠、藍,RGB)、保護膜生成、MVA 膜、PS(PHoto Spacer)膜生成是產生VOCs 的主要工藝。

              同時,在成盒工程中清洗工序使用的有機溶劑揮發也會產生少量的VOCs。TFT-LCD 的制造過程中產生的VOCs 主要是以異丙醇為主,其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯,這四種成分占了全部VOCs量的90%以上。



              尾氣處理設備:

              尾氣處理設備,主要是指運用不同工藝技術,通過回收或去除、減少排放尾氣的有害成分,達到保護環境、凈化空氣及保護周邊人員身體健康的一種環保設備。


              目前,針對TFT-LCD有機廢氣的尾氣處理,一般采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。有機溶劑廢氣先由吸附式尾氣處理設備(Local Scrubber)進行吸附處理,再進入中央處理系統(central scrubber)進行二次處理后排入大氣。

              吸附式尾氣處理設備(Local Scrubber)是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體,使其中所含的一種或多種組分吸附于固體表面上,達到分離的目的。其中吸附劑選擇性高,能分開其他過程難以分開的混合物,有效地清除(或回收)濃度很低的有害物質,凈化效率高,設備簡單,操作方便,且能實現自動控制。


              以上,就是關于TFT-LCD制造生產工藝中有機溶劑(VOCs)尾氣的來源種類和尾氣處理設備的簡單介紹,感謝您的閱讀!


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