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              電子特種氣體控制面板VMP設計

              2020-03-26 11:04:45        0

              特氣控制面板的設計

              特氣控制面板是氣路系統中重要的一個控制單元,這里主要圍繞易燃易爆性、毒腐性、面板控制等介紹,包括特氣面板設計規范和作用等內容。

              特氣輸送面板介紹

              特氣輸送面板是氣源部分非常重要的控制單元。一般工藝氣體從鋼瓶出來,經過高壓控制盤面時,都實現了一次調壓、過濾、流量穩定、吹掃、抽真空、壓力偵測等功能。不同的氣體和工藝需求,可以根據實際情況定制具體功能?,F階段,越來越多的高校實驗室引入了ICP、PVD、PEVCD等設備進行芯片鍍膜、刻蝕方面的研究,這些工藝氣體多是硅烷、乙烯、溴化氫等毒腐、易燃易爆性氣體,對于氣源的控制要求非常高,也給供氣面板提出了很多要求。


              特氣面板設計規范指南

              面板閥門

              1、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有緊急關斷閥門,并應為常閉氣動閥門,位置應靠近氣瓶;

              2、氣瓶壓力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面 板應設有過流開關;

              3、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置,真空管路應設止回閥;

              4、氣體面板應設置工藝氣體排氣口。

              可燃性特氣柜設計參考

              氣瓶柜

              硅烷氣瓶柜的排風換氣次數不得低于1200次/H,且氣柜的負壓應連續監控;自燃性特種氣體的氣瓶柜應設置紫外、紅外火焰探測器;可燃性特種氣體的氣瓶柜應設置誰噴淋系統;自燃性特種氣體的氣柜應在氣瓶之間設置隔離鋼板。

              VMP閥門盤氣體面板設計的意義

              輸送控制面板的設計對于整個供氣系統的便捷性、生命安全都起到非常重要的控制作用,在設計初期,業主需要將工藝、要求等提供給設計院作為設計依據,同時,在建設周期,有必要參考相應的規范將要求落實到施工當中去。

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