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              離子注入工藝中PH3廢氣處理設備Local Scrubber

              2020-12-01 10:31:34    責任編輯: 廢氣處理設備制造廠商     0

              半導體工業在給人們帶來財富的同時,也伴隨著對人類生存環境的危害。近年來,半導體工業的環境問題受到國際社會的極大關注。在半導體制造工序中會使用多種特殊氣體如PH3、SiH4等等,同時隨之而來的是大量廢氣的產生。這些半導體制造工序中工藝廢氣如果未經廢氣處理設備(Local Scrubber)有效地減低廢氣排放量及排放濃度,將會給周邊環境帶來嚴重的污染,并有可能危及人們的生命安全。



              其中,在半導體制造工序中PH3參與擴散和離子注入工藝,是一種無色的有毒氣體,極易燃,具有腐蝕性和強還原性,遇熱的明火有燃燒爆炸的危險。暴露在空氣中能自燃。人體如果吸入PH3,會影響人體的細胞代謝,發生內窒息,損害神經系統等。



              PH3廢氣可通過吸附式廢氣處理設備(Local Scrubber)進行處理,制程生產的廢氣在風機壓力下由入氣口管道進入主吸附桶,廢氣中需要處理的有毒氣體組分在主吸附桶中被吸附劑吸附處理,吸附后的廢氣經變色球檢驗合格后從出氣口排出,再送至central scrubber 做水洗中和處理后,最后排入大氣,確保廢氣處理的安全性處理過程中沒有危害。



              綜上,PH3是一種有毒的高危險性氣體,參與制程工藝中的擴散和離子注入,需經廢氣處理設備處理方可排放,避免對環境和周邊人員的身體健康造成危害。


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