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              從CVD制程工藝用氣角度來具體分析一下特氣柜的功能

              2020-11-03 10:56:08    責任編輯: 特氣柜設計制造公司     0

              在半導體行業中,SiNx薄膜材料常作為集成電路最后的鈍化保護層。一般通過CVD(化學氣相沉積)制成,其中一種常用氣態原材料就是硅烷(SiH4),我們今天就以硅烷(SiH4)為例,從安全使用角度來具體分析一下特氣柜的設計功能體現在哪些方面?有何作用?


              從特氣使用的角度解釋特氣柜的功能:


              硅烷(SiH4)是一種在常溫常壓下具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆炸性燃燒的劇毒性特種氣體。


              1.  硅烷氣體鋼瓶安裝或更換前,沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)的基本功能:自動吹掃,能排除氣體管道中的氣體雜質,保證氣體純度;排除氣體管道中殘余的危險性氣體,保證人員安全。


              2.  實驗生產有時需要長時間的氣體供應,沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)的基本功能:自動切換,搭配內部的PLC程序,可實現硅烷的高純度和連續穩定供應,保障實驗或生產的正常進行。


              3.  硅烷(SiH4)與空氣會自燃,沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)柜內可配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等,報警偵測警報功能齊全,并在柜門關閉情況下,特氣柜內部都處于負壓狀態,可第一時間發現泄漏并阻止泄漏氣體擴散,及時報警處理,避免更大事故的發生,確保了正常生產和員工人身安全。


              最后,沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)擁有SEMI S2認證,SEMI S2(Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment)是針對半導體制程設備供貨商所規范的基本健康和安全要求安全標準,代表了半導體廠家的基本安全要求。



              以上,就是以硅烷為例,從CVD制程工藝用氣的安全使用角度來看特氣柜的功能設計,感謝您的閱讀,更多氣體應用資訊,盡在沃飛!


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